Датчик волнового фронта типа Шака-Гартмана предназначен для измерения параметров волнового фронта светового излучения.
Спецификация:
- Амплитуда измеряемых аберраций - до 15μ
- Точность измерений - λ/100 (RMS)
- Диаметр входного излучения - 4...100 мм и более
- Количество суб-апертур - от 400
- Длина волны излучения - 400-1100 нм
- Частота измерений - до 60 Hz
- Импульсное и непрерывное лазерное излучение
Некоторые версии датчика:
WFS-11.26-3.2-0.136
- Диаметр апертуры - 11.26 мм
- Количество суб-апертур - 4800
- Фокусное расстояние микролинз растра - 3.2 мм
- Пространсвеное разрешение - 136 μ
- Динамический диапазон (наклоны)* - 185 μ
- Динамический диапазон (дефокусировка)* - 45 μ
- Абсолютная точность RMS - 10 нм
- Относительная точность RMS - 2 нм
- Повторяемость результатов - 0.9 нм
- Минимальный радиус кривизны* - 340 мм
- ROC точность измерений - 0.4 мм
- Чувствительность измерения кривизны волнового фронта - 250 м
* для λ = 650 нм
WFS-7.03-3.2-0.136
- Диаметр апертуры - 7.03 мм
- Количество суб-апертур - 1870
- Фокусное расстояние микролинз растра - 3.2 мм
- Пространсвеное разрешение - 136 μ
- Динамический диапазон (наклоны)* - 115 μ
- Точность измерений RMS - 12 нм
- Минимальный радиус кривизны* - 210 мм
- ROC точность измерений - 0.4 мм
- Чувствительность измерения кривизны волнового фронта - 90 м
* для λ = 650 нм
WFS-4.91-3.2-0.136
- Диаметр апертуры - 4.91 мм
- Количество суб-апертур - 910
- Фокусное расстояние микролинз растра - 3.2 мм
- Пространсвеное разрешение - 136 μ
- Динамический диапазон (наклоны)* - 80 μ
- Точность измерений RMS - 10 нм
- Минимальный радиус кривизны* - 150 мм
- ROC точность измерений - 0.5 мм
- Чувствительность измерения кривизны волнового фронта - 45 м
* для λ = 650 нм