Интерферометр РИФ (Интерферометр Физо конструкции Романова) выполнен по схеме интерферометра Физо и предназначен для бесконтактного измерения формы плоских полированных поверхностей и зеркал. Программное обеспечение предназначено для обработки интерференционных картин с дополнительно введёнными наклонами.
Спецификация:
- Диаметр тестируемой поверхности - от 10 до 95 мм (по требованию - до 300 мм)
- Частота измерений - до 25 Гц
- Точность - 0.032 мкм (P-V)
- Амплитуда измеряемых аберраций (P-V) - до 5 мкм
- Источний излучения - He-Ne лазер
- Длина волны источника излучения - 0.65 мкм
- Ввод изображения в компьютер - ПЗС камера
Программное обеспечение:
- Позволяет обрабатывать интерференционные картины как в реальном времени, так и сохранённые .bmp файлы
- Точность метода обработки интерферограмм составляет λ/400
- Результаты обработки представлены в виде коэффициентов при полиномах Цернике, P-V и RMS, 2D и 3D распределение фазы
Программа позволяет обрабатывать интерферограммы с дополнительно введённым наклоном в горизонтальном направлении (x), который должен составлять от 8 до 60 интерференционных полос. Процесс обработки включает:
- Регистрацию интерференционной картины (или загрузку из .bmp файла)
- Определение размеров исследуемой области
- Фильтрацию, позволяющую исключить ложные экстремумы, а так же отсеять шумы
- Определение экстремумов
- Восстановление фазы согласно координатам экстремумов, разложение по полиномам Цернике, вычисление P-V, RMS
